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真空規(guī)是一種測(cè)量真空度的部件，由真空管、指針、尺度盤、密封桿等部分組成。真空規(guī)可用來測(cè)量物體的真空度，廣泛用于高精度加工和測(cè)量領(lǐng)域，涉及到航天航空、半導(dǎo)體制造、科學(xué)研究、真空焊接、金屬冶煉、光伏裝備等領(lǐng)域。

隨著真空測(cè)量技術(shù)發(fā)展，真空規(guī)種類日益多樣，整體分為彈性變形真空規(guī)、液體真空規(guī)、熱傳導(dǎo)真空規(guī)、輻射計(jì)型真空規(guī)、電離真空規(guī)、粘滯性真空規(guī)六大類。為滿足不斷升級(jí)的市場需求，國際真空規(guī)產(chǎn)品正不斷向小型化、集成化、一體化、智能化、高效率方向發(fā)展。

液體真空規(guī)是常見真空規(guī)之一，分為壓縮式真空規(guī)、U型壓力計(jì)。彈性變形真空規(guī)是利用彈性元件隨氣壓變化產(chǎn)生變形來測(cè)量壓差，可測(cè)量腐蝕性氣體、可凝蒸氣的壓力。彈性變形真空規(guī)又分為布爾登規(guī)、波紋管規(guī)、薄膜真空規(guī)、壓阻式真空規(guī)等。

根據(jù)原理不同，真空規(guī)性能不一，應(yīng)用場景也有所差別。在低真空度中，薄膜真空規(guī)、壓阻式真空規(guī)應(yīng)用較多；在中真空度中，多選用電離真空規(guī)、皮拉尼真空規(guī)；在高真空度中，以電離真空規(guī)為主；在超高真空度中，熱陰極真空規(guī)應(yīng)用較廣泛。

在半導(dǎo)體制造過程中，真空規(guī)可測(cè)量真空室內(nèi)的壓力和真空度，以保證半導(dǎo)體器件質(zhì)量及性能。我國是全球最大的半導(dǎo)體市場，根據(jù)國家統(tǒng)計(jì)局?jǐn)?shù)據(jù)顯示，2023年1-10月，我國集成電路產(chǎn)量為2765.3億塊。隨著半導(dǎo)體市場發(fā)展，真空規(guī)市場需求空間將隨之?dāng)U大。

在全球市場上，真空規(guī)供應(yīng)商有美國MKS、美國Fredericks、瑞士INFICON、安捷倫、愛德華、美國InstruTech、奧松電子、沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備、晨陽真空儀器等。在半導(dǎo)體用真空規(guī)領(lǐng)域，我國企業(yè)市場占比較低，與國外企業(yè)相比，在技術(shù)水平、產(chǎn)品性能、測(cè)量精度、品牌知名度等方面存在一定差距。

真空規(guī)具有快速響應(yīng)、穩(wěn)定性高等優(yōu)點(diǎn)，在工業(yè)制造、航天航空、半導(dǎo)體、科學(xué)研究等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。我國真空規(guī)供應(yīng)商以中小型企業(yè)為主，品牌影響力較弱，在高端領(lǐng)域不占據(jù)優(yōu)勢(shì)，在市場需求升級(jí)背景下，我國企業(yè)仍需加大技術(shù)研發(fā)，提高創(chuàng)新能力及技術(shù)水平，增強(qiáng)自身競爭力。